अर्धचालक उद्योग में चिप विनिर्माण कार्यशालाओं के लिए स्वच्छ मानक।

1. क्लीनरूम ग्रेड मानकों

क्लीनरूम का ग्रेड आमतौर पर हवा में अनुज्ञात कणों की संख्या और आकार के अनुसार विभाजित होता है। आईएसओ 14644 का अंतरराष्ट्रीय स्तर पर ग्रेड वर्गीकरण के लिए प्रयोग किया जाता है। इस मानक के अनुसार,सफाई कक्ष के ग्रेड ऊंचे से नीचे हैं: आईएसओ 1-9

यह ध्यान देने योग्य बात है कि विशेष उद्योगों और अनुप्रयोगों के अनुसार सफाई कक्ष का स्तर भिन्न-भिन्न हो सकता है। अर्धचालक चिप उत्पादन में, क्लीनरूम के लिए मानक आवश्यकताएं आम तौर पर यह सुनिश्चित करने के लिए अधिक कठोर होती हैं कि उत्पादित चिप्स की गुणवत्ता और प्रदर्शन अपेक्षाओं को पूरा करते हैं.

क्लीनरूम ग्रेड को इस में विभाजित किया जा सकता है: श्रेणी 1> ग्रेड 10> ग्रेड 100> ग्रेड 1000> ग्रेड 10000 > ग्रेड 300000

श्रेणी 1 सफाई-कमरे का प्रयोग मुख्य रूप से एकीकृत परिपथों के निर्माण के लिए माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग में किया जाता है, और एकीकृत परिपथों के लिए परिशुद्धता आवश्यकताएं उपमाइक्रोन हैं.

ग्रेड 10 सफाई कक्ष मुख्य रूप से अर्धचालक उद्योग में 2 माइक्रोन से कम बैंडविड्थ के साथ उपयोग किया जाता है।

श्रेणी 100 स्वच्छता व्यापक रूप से लागू है और अधिकांश उद्योगों की स्वच्छता की जरूरतों को पूरा कर सकती है। इसे दवा उद्योग में सड़न रोकनेवाला विनिर्माण प्रौद्योगिकी के लिए इस्तेमाल किया जा सकता है। इस सफाई कक्ष का उपयोग शल्यक्रिया में प्रत्यारोपण और समाकलक निर्माण, के साथ-साथ उन रोगियों के अलगाव उपचार के लिए किया जा सकता है जो विशेष रूप से जीवाणु संक्रमण के प्रति संवेदनशील होते हैं.

कक्षा 1000 साफ कमरे मुख्य रूप से सुंदर ऑप्टिकल उत्पादों का उत्पादन करने के लिए उपयोग किए जाते हैं, और विमान जिरोस्कोप को परीक्षण और एकत्र करने, सूक्ष्म बीयरिंग आदि को जोड़ने के लिए भी उपयोग किए जाते हैं।

जलीय उपकरणों या वायवीय उपकरणों के लिए कक्षा 10,000 साफ कक्षों का इस्तेमाल किया जा सकता है और कुछ मामलों में खाद्य और पेय उद्योग में भी इसका उपयोग किया जाता है. चिकित्सा उद्योग में कक्षा 10,000 स्वच्छ कमरे भी व्यापक रूप से इस्तेमाल किए जाते हैं.

2. सुरक्षा विचार

अर्धचालक साफ कमरे की सजावट सुरक्षा आवश्यकताओं को पूरा करना चाहिए। आम तौर पर कहा जा सकता है कि अर्धचालक सफाई कक्षों में कई ज्वलनशील और विस्फोटक पदार्थ होते हैं, इसलिए संबंधित राष्ट्रीय सुरक्षा नियमों, जैसे अग्नि निरोधक और विस्फोट निरोधक को सजावट के दौरान देखा जाना चाहिए। इसके अलावा, पर्यावरण प्रदूषण और कर्मचारियों के स्वास्थ्य और सुरक्षा पर भी विचार किया जाना चाहिए कि सजावट सामग्री राष्ट्रीय मानकों को पूरा करती है और मानव स्वास्थ्य को नुकसान नहीं पहुंचाती है।

3. क्लीन रूम एयर ट्रीटमेंट सिस्टम

अर्धचालक साफ कमरेकार्यशाला में वायु की सफाई सुनिश्चित करने के लिए वायु उपचार प्रणालियों की आवश्यकता होती है। वायु उपचार प्रणाली मुख्य रूप से वायु फिल्टर, वायु आपूर्ति प्रणालियों, वायु प्रणालियों और निकास प्रणालियों से बनी है। इनमें एयर फिल्टर एक महत्वपूर्ण घटक है जो वायु में कणों और सूक्ष्मजीवों को प्रभावी रूप से हटा सकता है।

4. मंजिल, दीवार और छत सजावट।

अर्धचालक प्रक्षालन कक्ष में फर्श, भित्ति और छत का बनना बहुत महत्वपूर्ण है क्योंकि ये सभी भाग प्रदूषण के प्रति सुग्राही होते हैं। फर्श पहनने में प्रतिरोधक, एंटी-स्टैटिक और सरल और आसान बनाने वाले पदार्थों से बना होना चाहिए। इसकी दीवारें और छतें, संक्षारण प्रतिरोधी, एंटी-स्टैटिक और आसान से साफ़ सामग्री जैसे एल्युमिनियम की होनी चाहिए। सैंडविच पैनल, स्टेनलेस स्टील पैनल, ग्लास पर्दा की दीवार, आदि।

5. लैंप और कुर्सियां जैसे विद्युत उपकरणों का लेआउट

अर्धचालक सफाई कक्ष की सजावट में, लैंप और सॉकेट का लेआउट भी बहुत महत्वपूर्ण है। धूल और सूक्ष्मजीव जैसे प्रदूषकों को कार्यशाला में जाने से रोकने के लिए, इन उपकरणों को छत पर या दीवार की ऊंचाई पर, एंटी-स्टैटिक और नॉन-पोडलिंग सामग्री से ऊपर स्थापित किया जाना चाहिए।

6. दरवाजे, खिड़कियां, साफ कार्यक्षेत्र और अन्य सुविधाएं

अर्धचालक क्लीनरूम की सजावट में,साफ कमरे के दरवाजे, क्लीनरूम विंडोज़क्लीन बेंच और अन्य सुविधाओं पर भी विशेष ध्यान देने की जरूरत है। दरवाजों और खिडकियों को अच्छी सीलिंग के प्रदर्शन के साथ और उन्हें साफ करना आसान होना चाहिए, जैसे स्टेनलेस स्टील के दरवाजे और खिडकियाँ। क्लीन वर्कबेंच को ऐसी सामग्री से बनाया जाना चाहिए जिनमे पाउडर, स्लैग कण, संक्षारण प्रतिरोधी और साफ करना आसान न हो जैसे स्टेनलेस स्टील वर्कबेंच।