भी

अर्धचालक साफ कमरे के डिजाइन को कणों, वायु जनित अणुसंदूषित, इलेक्ट्रोस्टैटिक डिस्चार्ज, कंपन और अस्थायी तापमान या आर्द्रता से अधिक संवेदनशील प्रक्रियाओं का संरक्षण करना चाहिए। चुनौती केवल एक वर्गीकरण परीक्षण प्राप्त नहीं कर रहा है; जब फैक्ट्री चल रही होती है और उसमें बदलाव होता है, तब यह प्रक्रिया विशिष्ट परिस्थितियों को बनाये रखता है।

इसलिए एक स्केलेबल सुविधा में जोखिम आधारित ज़ोनिंग, लचीले हवा का प्रवाह, अनुकूल संलग्नक सामग्री, अनुशासित सामग्री संचलन और सेवा पहुंच सम्मिलित है जो बार-बार उत्पादन में बाधा नहीं डालती है.

क्षेत्र में प्रक्रिया संवेदनशीलता परिवर्तित करें

प्रक्रिया अनुक्रम से शुरू करें और उन सभी दूषित पदार्थों की पहचान करें जो हर चरण को धमकी देते हैं। फोटोलिथोग्राफी, बयान, निक्षारण, सफाई, मैट्रोलोजी, एसेम्बली और सपोर्ट ऑपरेशनों के लिए हमेशा एक जैसे नियंत्रण की आवश्यकता नहीं होती है। पूरे सुविधा में एक सिंगल वर्गीकरण से ऊर्जा बर्बाद हो सकती है और वह स्थानीय आणविक या इलेक्ट्रोस्टैटिक जोखिम को दूर करने में असफल रहता है।

प्रत्येक क्षेत्र के लिए आवश्यक कणों के आकार, एएमसी की चिंताओं, तापमान स्थिरता, आर्द्रता, एएसडी, दबाव संबंध, निकास और रखरखाव के लिए प्रदूषकों को नियंत्रित करने की मैट्रिक्स तैयार करें. यह मैट्रिक्स छत कवरेज, पुनर्विचार हवा की रणनीति, सतह सामग्री और निगरानी का आधार बन जाता है।

साइट ' एसइलेक्ट्रॉनिक और अर्धचालक सफाई समाधानName

उपकरण और गर्मी लोड के आसपास हवा का प्रवाह डिजाइन।

स्वच्छ हवा उपकरणों, ऊपरी सेवाओं या ऑपरेटरों द्वारा अवरुद्ध किए बिना संवेदनशील प्रक्रिया तक पहुंचनी चाहिए। तेज़ हीट लोड ऊर्ध्वाधर प्लम बना सकता है, जो हवा के प्रवाह को बाधित कर सकता है। बड़े उपकरण छायांकित क्षेत्र बना सकते हैं, और खराब स्थिति में रिटर्न शॉर्ट

· मानचित्र उपकरण आयाम, निकास कनेक्शन, गर्मी रिलीज और रखरखाव लिफाफे।

· केवल एक दृश्य वर्दी पैटर्न का उपयोग करने के बजाय प्रक्रिया महत्वपूर्ण क्षेत्रों के साथ एफएफयू पोजीशन का समन्वय करें.

· कम रिटर्न या छापे हुए फर्श रणनीतियों का उपयोग करें जहां वे वांछित स्वीप पथ का समर्थन करते हैं।

· उपकरण लेआउट में परिवर्तन के बाद वायु प्रवाह का मूल्यांकन करें, न केवल प्रारंभिक कमीशन पर।

· घनी पैक खण्डों या अत्यधिक संवेदनशील स्थानीय क्षेत्रों के लिए सीएफडी पर विचार करें।

उपकरण संचालन के समय एकल इकाई मॉड्यूलर नियंत्रण वायु प्रवाह को पुनर्संतुलित करने में मदद करता है। एक एकीकृतसाफ कमरे FFU छत प्रणालीएक repeatable ग्रिड के भीतर सक्रिय इकाइयों, खाली पैनलों, रोशनी और सेवा पहुंच का समन्वय भी करता है।

एएमसी और कणों पर नियंत्रण।

HEPA और ULPA छानने का काम नियंत्रण कण लेकिन हर गैस चरण दूषित पदार्थ को दूर नहीं करते हैं. एसिड, कुर्सियां, कंडेनसबैल्स, डोपेंट्स और अन्य आणविक संदूषक को स्रोत नियंत्रण, रासायनिक निस्यंदन, सामग्री प्रतिबंधों और समर्पित निगरानी की आवश्यकता हो सकती है।

जोखिम से बाहर जोखिम के लिए सीलंट्स, कोटिंग, इन्सुलेशन, सफाई उत्पादों और साज-सज्जा की चीजों की समीक्षा करें। असंगत दूषित तत्वों को उत्पन्न करने वाली अलग प्रक्रियाएं, और बाहर की हवा की गुणवत्ता और पुनरावृत्ति पथ का प्रबंधन. स्वीकार्य स्तर प्रक्रिया संवेदनशीलता और एक सामान्य सफाई कक्ष दावे के बजाय माप विधि से जुड़ा होना चाहिए.

ESD, आर्द्रता और सतह के चयन को एकीकृत करें

इलेक्ट्रोस्टैटिक नियंत्रण फर्श से अधिक पर निर्भर करता है। ग्राउंडिंग, प्रवाहकीय या विघटनकारी सतहों, वस्त्र, उपकरण, आर्द्रता और ऑपरेटिंग अभ्यास एक कार्यक्रम है। आर्द्रता प्रक्रिया आवश्यकताओं, संक्षारण जोखिम और संक्षेपण नियंत्रण के खिलाफ ESD प्रदर्शन को संतुलित करना चाहिए।

दीवार और छत खत्म चिकनी, गैर शेडिंग और सफाई एजेंटों के साथ संगत होना चाहिए। उनके जोड़ों और फ्रेम कण जाल नहीं बनाना चाहिए। जहां उपकरण परिवर्तन अक्सर होते हैं, एकहटाने योग्य दीवार पैनल प्रणालीमॉड्यूलर बाड़े अवधारणा को बनाए रखने के दौरान उपकरण आंदोलन के लिए नियंत्रित पहुंच प्रदान कर सकते हैं।

योजना सामग्री और कर्मियों के आंदोलन

आने वाली सामग्री कण, फाइबर और पैकेजिंग मलबे ले जा सकती है। सामग्री को साफ जगह पर पहुँचने से पहले खोलना, पोंछना और नीचे की तरफ जाने वाले कदमों को परिभाषित करें। कार्मिक मार्गों को कम से कम भौतिक और व्यर्थ के मार्गों को पार करना चाहिए और गधों का मिलान वास्तविक ज़ोन जोखिम से होना चाहिए।

एयरलॉक्स तथा पास बॉक्स तब ही उपयोगी होते हैं जब उनका संचालन अनुक्रम व्यावहारिक हो। यदि अंतरण समय अवास्तविक है तो प्रचालक प्रक्रिया को छोड़ सकते हैं। अपेक्षित उत्पादन मात्रा का निरीक्षण करें और चरम मांग, गाड़ियां और कंटेनर के लिए स्थानांतरण स्थान का आकार देखें।

नियंत्रण खोए बिना उपकरण परिवर्तन के लिए निर्माण

अर्धचालक सुविधाएं जल्दी विकसित होती हैं विस्तार के लिए आरक्षित छत मॉड्यूल, विद्युत क्षमता, उपयोगिता और नियंत्रण पते। दोहराने योग्य पैनल और ग्रिड मॉड्यूल का प्रयोग करें ताकि सीमित विध्वंस के साथ स्थानीय परिवर्तन किए जा सकें. तकनीकी परीक्षण और सेवा पहुंच कम साफ क्षेत्रों जहां संभव हो, से रखरखाव की अनुमति देनी चाहिए।

परिवर्तन नियंत्रण में वायु प्रवाह, दाब, ताप भार, कंपन, रासायनिक निकास और किसी उपकरण के चलने के बाद निगरानी का मूल्यांकन होना चाहिए। पुनः संतुलन और केंद्रित requalification की आवश्यकता हो सकती है भले ही कमरे की सीमाएं बदलती न हों.

प्रतिनिधि शर्तों के तहत आयोग

परीक्षण एक खाली कमरे कण गिनती से परे का विस्तार होना चाहिए। फ़िल्टर की अखंडता, वायु प्रवाह की मात्रा, कमरे का दबाव, तापमान और आर्द्रता की स्थिरता, रिकवरी, एएसडी नियंत्रण और संबंधित एएमसी मॉनिटरिंग को सत्यापित करें। महत्वपूर्ण उपकरणों के आसपास वायु प्रवाह दृश्य दिखा सकता है कि क्या स्वच्छ वायु उपयोग के बिंदु तक पहुंच सकती है या नहीं.

पकड़ बेसिक रीडिंग और उपकरण विन्यास ताकि भावी विचलन की तुलना ज्ञात स्थिति से की जा सके। प्रवृत्ति डेटा को लेखापरीक्षा प्रस्तुति के लिए विद्यमान की बजाय प्रक्रिया जांच और निवारक रखरखाव का समर्थन करना चाहिए।

अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न

क्या सभी अर्धचालक क्लीनरूम को उसी आईएसओ वर्ग की आवश्यकता होती है?

नहीं. वर्गीकरण प्रक्रिया संवेदनशीलता को प्रतिबिंबित करना चाहिए स्थानीय महत्वपूर्ण क्षेत्रों को समर्थन या सेवा स्थानों की तुलना में कड़ी नियंत्रण की आवश्यकता हो सकती है।

हेपा फिल्टर हवाई आणविक संदूषण को हटा सकते हैं?

हेपा फिल्टर कणों के लिए डिज़ाइन किए गए हैं। आणविक संदूषक के लिए आम तौर पर स्रोत नियंत्रण, उपयुक्त सामग्री और सही गैस-चरण का निस्पंदन आवश्यक होता है।

अर्धचालक सुविधाओं में मॉड्यूलर दीवारें क्यों मूल्यवान हैं?

ये नियंत्रित टूल चाल और लेआउट में परिवर्तन को सरल बना सकते हैं, ढहने को कम कर सकते हैं और डाउनटाइम को भी कम कर सकते हैं, जब सिस्टम पर रिपीटेबल रिमूवल और रीजिंग के लिए डिज़ाइन किया गया हो।

कब वायु प्रवाह को पुनर्मूल्यांकन किया जाना चाहिए?

महत्वपूर्ण उपकरण, निकास, छत, वापसी हवा या कमरे के लेआउट परिवर्तन के बाद, और सुविधा द्वारा परिभाषित अंतराल पर, पुनर्मूल्यांकन#39; एस योग्यता कार्यक्रम

प्रदर्शन और भविष्य के परिवर्तन के लिए निर्दिष्ट करें

एक मजबूत आरएफक्यू में प्रक्रिया ज़ोनिंग मैट्रिक्स, टूल लेआउट, हीट और एक्सहास्ट डेटा, लक्ष्य वर्गीकरण एएमसी और एएसडी आवश्यकताओं, छत मॉड्यूल, रखरखाव मार्ग और विस्तार परिक्रमाओं को शामिल किया गया है। टेक्स्किन्ड क्लीनरूम, इलेक्ट्रॉनिकी और अर्धचालक विनिर्माण के लिए मॉड्यूलर बाड़े, छत, दरवाजा, उपकरण और एकीकृत परियोजना क्षमताओं के साथ वैश्विक बी 2 बी परियोजना टीमों का समर्थन करता है।